LPCVD懸臂舟陶瓷真空吸盤(pán)主要用于半導(dǎo)體光伏行業(yè)中薄膜的制備。如擴(kuò)散上下料機(jī)，懸臂舟是擴(kuò)散上下料機(jī)中的關(guān)鍵部件，主要用于擴(kuò)散前后的硅片裝卸。

采用精密耐磨耐高溫陶瓷結(jié)構(gòu)的懸臂舟或稱(chēng)裝卸片機(jī)械手通常由50片真空吸盤(pán)組成，一次可裝卸50片硅片。陶瓷結(jié)構(gòu)的懸臂舟有著不變形、無(wú)污染、易維護(hù)的優(yōu)點(diǎn)。懸臂舟依靠真空吸盤(pán)的吸力和硅片自身重量采用軟著陸的方式裝卸硅片，可大幅降低碎片率和對(duì)載具的精度要求。真空吸盤(pán)單片誤差可控制在0.005mm以?xún)?nèi)，50片疊加誤差不超過(guò)0.2mm。

LPCVD石英舟，擴(kuò)散石英舟，氧化鋯承載舟主要用于半導(dǎo)體光伏行業(yè)中薄膜的制備。在LPCVD（低壓化學(xué)氣相淀積）工藝中石英舟是硅片在反應(yīng)室中的載具。

明睿陶瓷生產(chǎn)的陶瓷石英舟托齒和吸盤(pán)采用精密耐磨耐高溫的氧化鋯陶瓷材料，目前主要分4.76、2.38兩種齒距。氧化鋯石英舟強(qiáng)度高不易變形，無(wú)污染，擴(kuò)散過(guò)程中不易粘舟，容易維護(hù)，相比普通石英舟使用壽命更長(zhǎng)。